■温度制御の分類
@オンオフ制御
上限下限温度で加熱停止、加熱開始
の簡単な方法ですが温度変化が大きい。
APID制御
P比例制御、I積分制御、D微分制御を
使った高度で複雑な温度制御方法。
■インパルス加熱制御例
PID制御技術を駆使、従来不可能であった
1秒で150℃へ理想的な超高速温度制御を
実現。 ( 右グラフは温度制御の実測例 )
温度制御例の紹介
”超高速” 、 ”高精度”
■車と温度は急に曲がれない!!
車は高速で急に曲がれませんが、温度も同じで
す。通常のPID制御では右図実線の様に振動
したり、破線の様に遅い立ち上がりになります。
インパルス加熱と言う約1秒でオーバーシュート
(行き過ぎ)なしで目標値に制御する様な
超高速温度制御は不可能に近い事でした。
ポイント??
■半導体炉の温度制御例
半導体の製造工程では、正確な温度制御が要求されます。
要求仕様、620℃のオーバーシュート(行き過ぎ)5℃以内を
余裕でクリヤ、ほぼ理想的な高速の温度制御を実現。
下のグラフの青は目標温度、赤が半導体製造炉の実測温度グラフです。
温度制御でお困りの方一度相談下さい。きっとお役に立てると思います。
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