■温度制御の分類
  @オンオフ制御
   上限下限温度で加熱停止、加熱開始
   の簡単な方法ですが温度変化が大きい。

  APID制御
   P比例制御、I積分制御、D微分制御を
   使った高度で複雑な温度制御方法。


インパルス加熱制御例
  PID制御技術を駆使、従来不可能であった
  1秒で150℃へ理想的な超高速温度制御を
  実現。 ( 右グラフは温度制御の実測例 )
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”超高速” 、 ”高精度”
温度は急に曲がれない!!
  車は高速で急に曲がれませんが、温度も同じで
  す。通常のPID制御では右図実線の様に振動
  したり、破線の様に遅い立ち上がりになります。
 
  インパルス加熱と言う約1秒でオーバーシュート
  (行き過ぎ)なしで目標値に制御する様な
  超高速温度制御は不可能に近い事でした。
ポイント??
半導体炉の温度制御例
  半導体の製造工程では、正確な温度制御が要求されます。
  要求仕様、620℃のオーバーシュート(行き過ぎ)5℃以内を
  余裕でクリヤ、ほぼ理想的な高速の温度制御を実現。

  下のグラフの青は目標温度、赤が半導体製造炉の実測温度グラフです。

  温度制御でお困りの方一度相談下さい。きっとお役に立てると思います。
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超高速高精度温度制御
のお手伝い致します。

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